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製品案内
静電容量式非接触変位計NANOMETRIC SENSOR
MODEL 211 高速・高分解能型
ノイズレベルを大幅に低減し、超高分解能1nm（p-p）
高速20KHz（オプションで300KHzまで可）の変位計です。
MODEL 212 低速・高安定型
高安定度の追求（0.01%F.S/℃）と高温度環境下
（100℃）で高精度位置決めに適した変位計です。
主な特長
・コンデンサ原理より、非接触で確度の高い測定値を得ることができます。
・他のセンサーと異なり、金属の材質、成分や反射率に影響されません。
・高感度、高精度、高リニアリティで正確なアナログ電圧を出力します。
・低温から高温までの環境（-30～100℃）で測定できます。（Model 212）
・温度ドリフトが少なく、安定した測定ができます。（Model 212）
用途
スピンドルの振れ
超音波ホーンの振れ
精密ステージ位置決め
超音波ふるい機の振れ測定
ハードディスクの振れ測定
ピストンリングとライナーの変位
静電容量式非接触変位計仕様
| 方式 Type | 静電容量 Capasitive |
|---|---|
| 出力抵抗 Output Resistance | Approx.200Ω |
| 出力表示 Output Indicator | アナログメータ analog meter |
| 電源 Power Supply | AC～100V±10% 50/60Hz Approx.13W |
| 環境条件 Ambient | 5～50℃, 85%R.H以下 |
| 外形寸法 Dimensions | Approx.90 (W) ×150 (H) ×282 (D) mm |
| 重さ Weight | Approx.2Kg |
| 付属品 Accessories | 出力ケーブル Output Cable, 電源ケーブル Power Cable, 取扱説明書 Instruction manual |
| （オプション）Options | 応答周波数改造 Frequency response 100KHz (Model 211), 5KHz (Model 212) |
プローブ仕様 - Probe Specifications
※等価換算 rms equiv.1nm(p-p) 0.11
| 611H-2 | 614A-1 | 615A-1 | 514-1 (model 212) | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 測定電極 Active Probe tip | 0.7mm | 1.8mm | 1.8mm | 4.0mm | 1.8mm | |
| 外形 Outer Diameter | φ16mm | φ16mm | φ16mm | φ16mm | φ5mm | |
| 測定範囲 Measuring Range | 100±50μm | 100±50μm | 200±50μm | 500±50μm | 100±50μm | |
| 出力電圧 Output Voltage | ±10V | ±10V | ±10V | ±10V | ±10V | |
| 感度 Sensitivity | 200mV/μm | 200mV/μm | 200mV/μm | 200mV/μm | 200mV/μm | |
| 確度 Accuracy | ±2%F.S | ±1%F.S | ±1%F.S | ±1%F.S | ±1%F.S (23±5℃) | |
| 分解能 (p-p) Resolution (※) |
20KHz | 20nm | 3nm | 8nm | 20nm | － |
| 2KHz | 10nm | 1nm | 3nm | 10nm | 15nm | |
| 200Hz | 5nm | 0.5nm | 1nm | 5nm | 5nm | |
| 20Hz | － | － | － | － | 1nm | |
| ケーブル長 Cable Length | 1.5m | 1.5m | 1.5m | 1.5m | 1.5m | |
| ●用途に応じた小型プローブの製作も致します。 | ●Custom Probe can be designed on request. |
| ●この製品は外国為替及び、外国貿易管理法の規定により規制貨物（又は技術）に該当する場合があります。その場合の輸出には日本政府の輸出許可が必要です。 | ●This products will be Regulated Products Subject to the Foreign Exchange and Foreign Trade Control of Japan. In that case,Export should not be allowed without appropriate governmental authorization. |
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